Die Kernaufgabe lautet: rotieren, ohne die geforderte Vakuumqualität, Prozessreinheit und Anlagenverfügbarkeit zu gefährden.
Mechanische Durchführungen halten den Antrieb außerhalb der Kammer und übertragen die Bewegung vakuumdicht in den evakuierten Bereich. Der übergreifend häufigste Einsatzzweck ist die Rotation oder Winkelpositionierung eines Werkstücks, Substrats, Targets oder Probenhalters.
In industriellen Beschichtungsanlagen dient sie häufig der gleichmäßigen Substratbewegung; in Forschung und Oberflächenanalytik der reproduzierbaren Probenorientierung. Weitere wiederkehrende Aufgaben sind Shutter-/Blendenbetätigung, Waferhandling, Strahlführung, Transportrollen, Vakuumöfen und kombinierte Dreh-/Linearbewegungen.
Die beste Bauart ergibt sich nicht allein aus dem Enddruck. Entscheidend sind Drehzahl, Anfahr- und Spitzenmoment, Duty Cycle, axiale und radiale Last, Ausheiztemperatur, Prozessgas, Partikelanforderung, Magnetfeldempfindlichkeit, Leckrate, Einbauraum und Wartungsstrategie.
ALMA driving elements ferrofluidische Drehdurchführungen verbinden hohe Drehzahl, gutes Drehmoment und geringe Dichtreibung.
Die wirtschaftlich beste Drehdurchführung ist nicht die preiswerteste Komponente, sondern diejenige, die die geforderte Bewegung mit ausreichender Reserve überträgt und dabei Leckage, Kontamination, Wartung und Stillstandsrisiko auf das notwendige Minimum reduziert.
