Magnetfluid-Dichtungstechnologie für maximale Vakuumsicherheit
Exklusives Spezial-Magnetfluid für zuverlässige, wartungsarme Anwendungen
ALMA verwendet ein speziell entwickeltes Magnetfluid, das gegenüber herkömmlichen Fluids entscheidende technische Vorteile bietet. Insbesondere unter thermischer Belastung überzeugt es durch ein äußerst geringes Ausgasungsverhalten und unterstützt damit eine konstant hohe Vakuumqualität.
Das Diagramm veranschaulicht den Dampfdruck bei steigenden Temperaturen: Je niedriger der Dampfdruck, desto geringer die Ausgasung des Fluids. Abhängig von den jeweiligen Prozess- und Betriebsbedingungen lässt sich die Vakuumqualität durch den Einsatz des ALMA-Magnetfluids deutlich verbessern.
Das kohlenwasserstoffbasierte Magnetfluid enthält ein Spezialöl mit einem außergewöhnlich niedrigen Dampfdruck:
- bei Raumtemperatur: 4 × 10⁻¹¹ mbar
- bei 100 °C: 7 × 10⁻⁸ mbar
Maximale Vakuumsicherheit und hohe Wirtschaftlichkeit
Das exklusiv von ALMA eingesetzte Magnetfluid eignet sich ideal für anspruchsvolle und thermisch belastete Vakuumanwendungen. Neben einer hohen Vakuumreinheit bietet es deutliche wirtschaftliche Vorteile: Das geringe Ausgasungsverhalten verlängert die Wartungsintervalle, reduziert Betriebskosten und erhöht die Anlagenverfügbarkeit.
Stoffschlüssige Verbindung für UHV-Anwendungen
Im Ultrahochvakuum können selbst geringste Leckraten die Prozessqualität beeinträchtigen – beispielsweise bei der Waferbeschichtung. Deshalb kommen bei ALMA-UHV-Drehdurchführungen keine Elastomer-O-Ringe an der statischen Dichtstelle zum Einsatz. Stattdessen wird der Polschuh dauerhaft und stoffschlüssig mit dem Gehäuse verbunden.
Diese Konstruktion verhindert die bei Elastomerdichtungen auftretende Gasdurchlässigkeit und sorgt für eine besonders zuverlässige Abdichtung. Zusätzlich lässt sich der Polschuh direkt kühlen, wodurch ein kontrolliertes Ausheizen des Vakuumrezipienten ermöglicht wird.
Vorteile der ALMA-Dichtungstechnologie
- Stoffschlüssige Verbindung für anspruchsvolle UHV-Anwendungen
- Exklusives ALMA-Magnetfluid für höhere Vakuumsicherheit
- Geringes Ausgasungsverhalten und hohe Prozessreinheit
- Keine verschleißbedingte Partikelbildung
- Wartungsfreier Betrieb
- Reduzierte Betriebskosten und hohe Anlagenverfügbarkeit
Dampfdruckvergleich der Magnetfluide
Niedriger Dampfdruck unterstützt eine höhere Vakuumqualität.
Mehr Vakuumqualität durch geringeren Dampfdruck
Das Diagramm zeigt das Dampfdruckverhalten bei steigenden Temperaturen. Grundsätzlich gilt: Je niedriger der Dampfdruck, desto geringer ist das Ausgasungsverhalten des Magnetfluids.
Abhängig von den jeweiligen Anwendungsparametern kann das ALMA-Magnetfluid die Vakuumqualität deutlich verbessern und damit zu stabileren, zuverlässigeren Prozessen beitragen.
