Präzisionsoptiken für die Astronomie:
ALMA-Drehdurchführung in einer Spiegelbeschichtungsanlage

Die Kundenbranche

BÜHLER LEYBOLD OPTICS hat ein Magnetron-Sputtering-System entwickelt, mit dem Kleinserien von astronomischen Spiegeln ultradünn und damit hochexakt beschichtet werden können. Mit dieser Anlage können Aluminium- und Silberspiegel mit Schutz- und Hochleistungsschichten produziert werden, die sich durch beste Strapazierfähigkeit und höchste Reflektionsgrade auszeichnen. Insgesamt können bis zu vier Sputter Targets mit DC-Puls oder DC-Sputter-Power eingesetzt werden. Durch die flexibel einstellbare Neigung der Kathode, die sich symmetrisch zu den gewölbten Spiegeloberflächen verhält, wird eine exzellente Gleichmäßigkeit auf der gesamten Oberfläche jedes individuellen Spiegels erreicht.

Das Kundensystem

Das neue DEIMOS 5500 Sputteringsystem ist mit 4 Magnetron-Kathoden für metallische und dielektrische Schichten ausgestattet und für die Beschichtung von astronomischen Spiegeln mit bis zu 4,5 m Durchmesser ausgelegt. Die Ausstattung/Behandlung der Substrate und des Rezipienten mit MF- und DC-Glimmentladung bietet die perfekte Grundlage, um optimale Beschichtungsergebnisse zu erzielen und somit die hohen Qualitätsanforderungen bei der Herstellung von astronomischen Spiegeln zu erfüllen. Der verfahrbare untere Rezipient ermöglicht beste Zugänglichkeit zur Anlage und ein einfaches Substrathandling.