ALMA-Dichtungstechnologien für höchste Reinheit im Vakuum
Das zuverlässige Dichtungsprinzip: Magnetfluid-Dichtungen
Die Konstruktion der ALMA-Drehdurchführungen fokussiert auf hohe Dichtheit und große Betriebssicherheit. Unser verschleissfreies, auf Magnetfluid basierendes Dichtungsprinzip verhindert mechanischen Abrieb, so dass nicht nur eine hohe Lebensdauer, sondern auch eine hohe Reinheit der Vakuumanwendung gewährleistet ist. Der Kunde profitiert davon, da wartungsbedingte Stillstandszeiten entfallen und seine Anlagen somit eine maximale Verfügbarkeit aufweisen.Magnetfluiddichtungen nutzen die Reaktion von Magnetfluids auf ein angelegtes Magnetfeld aus. Prinzipiell besteht die Dichtung aus zwei Polschuhen, einem Magnet, dem Magnetfluid, einer drehenden Welle und dem Gehäuse. An der Dichtungsstelle zwischen den Polschuhen und der drehenden Welle wird das Magnetfluid durch das angelegte Magnetfeld ringförmig fixiert. Das Magnetfluid bildet dabei eine „flüssige Dichtlippe“ und dichtet hermetisch ab. Standardmäßig wird die statische Dichtungsstelle zwischen Gehäuse und den Polschuhen mittels eines Elastomer-O-Ringes abgedichtet.
Die Magnetfluid-Dichtungstechnologie für hohe Vakuumsicherheit

Hochwertiges Spezial-Magnetfluid für wartungsfreie Anwendungen
ALMA setzt exklusiv ein spezielles Magnetfluid ein, das erhebliche technische Vorteile gegenüber herkömmlichen Fluids bietet. Insbesondere bei Anwendungen mit thermischer Belastung zeichnet sich dieses Fluid durch deutlich geringere Ausgasungen aus.
Neben dem Qualitätskriterium, der Reinhaltung des Vakuums, bietet das ALMA-Fluid auch wirtschaftliche Vorteile: Die Wartungskosten sinken, da die typischen verkürzten Wartungszyklen aufgrund der Ausgasungen herkömmlicher Fluids entfallen.
Die stoffschlüssige Verbindung für UHV-Anwendungen
Leckraten werden zum Problem, wenn im Ultrahochvakuum gearbeitet werden muss (z.B. bei der Waferbeschichtung). ALMA-Drehdurchführungen für UHV-Anwendungen sind so konstruiert, dass eine statische Dichtungsstelle entfällt, da anstelle eines Elastomer-O-Ringes eine stoffschlüssige Verbindung eingesetzt wird.Das innovative Konstruktionsprinzip der stoffschlüssigen Verbindung

Vorteile der ALMA-Dichtungstechnologien
- Stoffschlüssige Verbindungstechnologie bei UHV-Drehdurchführungen
- Spezielles ALMA-Magnetfluid für mehr Vakuumsicherheit und Wirtschaftlichkeit
- Keine Partikelbildung
- Absolut wartungsfrei